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臺車爐的使用結構介紹
更新時間:2020-07-28 點擊次數:189次

  臺車爐是在半導體器材制造中運用的一種加工處理設備,其包含加熱配件,接下來一起來看看小編的介紹:

  熱處理用臺車爐結構包括爐體、升降式爐門、臺車和運行軌道,臺車前端設置有卡板,卡板與臺車形成“t”型結構,卡板的后端面上設置有電源插頭和導向桿。

臺車爐

  臺車的電氣鏈條滑動驅動裝置結合軌道裝置可以裝載沉重的負荷;采用鋼輪和齒桿驅動裝置的臺車無需在爐前敷設軌道;不同拓展成為臺車爐設備的方式:輔助臺車;采用駐車軌道的臺車驅動系統適用于更換車輛并且連接多個爐子;臺車和橫向移動裝置的電機驅動。

  熱處理是針對不同的作用而規劃的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改動成長的薄膜的狀態,修正注入的損害,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。


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